초순수 관련 기출 · 풀이
134회 2교시 2번1. 폐수 및 폐기물 처리
초순수의 정의 및 공정 구성, 처리 원리에 대하여 설명하시오.
초순수(Ultra Pure Water, UPW)는 반도체·디스플레이 제조 등에 사용되는 비저항 18.2 MΩ·cm(25℃) 수준의 극도로 정제된 물로, 이온·미립자·유기물(TOC)·용존가스·미생물이 극미량까지 제거된 물이다. 공정은 전처리(응집·여과·활성탄)–1차순수(RO·이온교환)–2차순수(EDI·탈기·UV·UF) 구조로 구성되며, 역삼투(RO), 이온교환수지, 전기탈이온(EDI), 자외선산화, 한외여과(UF)가 핵심 단위공정이다. 비저항·TOC·입자수·세균을 관리지표로 한다.
전체 해설 보기129회 1교시 3번1. 폐수 및 폐기물 처리
초순수
초순수(UPW, Ultra Pure Water)는 이온·유기물·미립자·미생물·용존가스 등 모든 불순물을 극한까지 제거한 물로, 반도체·디스플레이·제약 공정의 세정·희석에 사용된다. 물의 순도는 비저항 18.2 MΩ·cm(25℃, 이론한계)에 근접해야 하며, RO+EDI+이온교환+UV+UF/멤브레인탈기를 다단 조합해 제조한다. 초미세 불순물이 제품 수율을 좌우하므로 TOC·입자·이온을 ppb 수준으로 관리한다.
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