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반도체 산업 안전에서 SEMI S6는 화학물질의 잠재적 위험성을 평가하는 중요한 지침이다. 등가방출농도(ERC)는 특정 화학물질의 위험성을 수소와 같은 기준 가스와 비교하여 화재 및 폭발 위험을 평가하는 데 사용된다. 본 문제는 ERC 개념을 설명하고, 주어진 조건(육불화황 농도 150ppm, 기준 가스 수소)에서 화재·폭발 위험성을 판단하는 것을 목표로 한다. 이를 위해 ERC 개념, 육불화황 및 수소의 특성, 비교 분석, 그리고 결론을 제시한다.
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